Framleiðsluferlið fyrir oblátur á algengum 200 mm CMOS flögum.
Efnafræðileg gufuútfelling er tækni sem notuð er við framleiðslu á örrafrænum tækjum til að setja þunnt filmu, sem getur verið rafeindaefni eða hálfleiðari. Líkamleg gufuútfellingartækni notar óvirkar lofttegundir til að hafa áhrif á sputtering skotmörk og setja æskilegt efni á yfirborð disksins. Hátt hitastig og lofttæmi umhverfið inni í vinnsluhvarfhólfinu getur valdið því að þessi málmfrumeindir mynda korn, sem síðan er hægt að mynstra og æta til að fá æskilega leiðandi hringrás.
Optísk þróun er ferlið við að breyta grafík úr ljósmyndagrímu yfir í þunnt filmu. Optísk þróun felur almennt í sér skref eins og ljósþolshúð, bakstur, ljósstillingu, lýsingu og þróun. Þurr æting er algengasta ætaraðferðin, sem notar gas sem aðal ætingarmiðil og plasma til að knýja hvarfið. Æsing er að fjarlægja óæskilegt efni af yfirborði.
Chemical Mechanical Polishing (CMP) er tækni sem sameinar bæði vélræna fæging og efnafægingu sem byggir á sýru-grunnlausn, sem getur gert flöt yfirborðið tiltölulega flatt og auðveldað síðari ferla. Á meðan á mala stendur er malalausnin á milli oblátsins og malapúðans. Þættirnir sem hafa áhrif á CMP eru meðal annars þrýstingur malahaussins og flatneskju, snúningshraði, efnasamsetning mala slurrysins og svo framvegis.
