Vöruyfirlit
Nice-Tech býður upp á tvö fjöldaframleiðslu-málmætingarkerfi fyrir mismunandi oblátastærðir, bæði byggð á ICP tækni og sérsniðin fyrir IC bak-málmvinnslu (BEOL).
12 tommu kerfi MES 12
Einbeitir sér að undir-0,18μm hárþéttni Al samtengingum í 12 tommu IC BEOL. Það felur í sér ICP ætingarhólf, descum hólfa og flutningseiningu og styður einnig Al pad ætingu.
8-tommu kerfi MES 8
Tvær gerðir fáanlegar-MES 800 (minna en eða jafnt og 8% innan-wafer/ Minna en eða jafnt og 5% obláta-til-oblátu einsleitni, 8.000 stk/mánuði fyrir 4μm Al) og MES 800P (minna en eða jafnt og jafnt og {12}% wafer jafnt og {15%} einsleitni obláts-til-obláts, 20.000 stk/mánuði fyrir 0,1μm Al, 400 RF-h MTBC)
Kostir
Mikil nákvæmni og stöðugleiki
12-tommu kerfi passar undir 0,18μm ferla; 8-tommu M2 býður upp á betri einsleitni og lengri stöðugan gang (400 RF-h MTBC).
Stærð og kostnaðarhagkvæmni
12-tommu kerfi þjónar háum-stórum-línum; 8 tommu gerðir veita sveigjanlega getu (8.000–20.000 stk/mánuði) með plásssparandi hönnun.
Víðtækur eindrægni
12 tommu kerfi hylur Al samtengingar/púða; 8 tommu kerfi styðja W recess og Kessel Pishow M er samhæft við 6 tommu oblátur með valfrjálsu ESC .
Umsóknir
IC BEOL Metal samtengi
12 tommu kerfi fyrir undir 0,18μm 12 tommu Al tengi/púða; 8 tommu kerfi fyrir 8 tommu Al vinnslu (M2 fyrir 0,1μm hnúta).
Fjölbreytt-stærðar-/ferlivinnsla
8 tommu MES 800 passar 6 tommu oblátur; báðar 8 tommu módelin styðja W innfellingu.
Uppfærsla á getu
12-tommu kerfi hjálpar til við háa-þenslu afkastagetu stórra tækja; 8-tommu módel (M fyrir miðlitlar línur, M2 fyrir afkastamikla mælikvarða).
Færibreytur
|
Flokkur |
12 tommu málmætingarkerfi (MES 12) |
8 tommu málmætingarkerfi (MES 800) |
8 tommu málmætingarkerfi (MES 800P) |
|
Samhæfni obláta |
12 tommu (300 mm) IC diskur; sniðin fyrir undir-0,18μm tæknihnúta |
8 tommu IC diskur; samhæft við 6 tommu oblátur með valfrjálsu ESC |
8 tommu IC diskur; fínstillt fyrir 0,1μm tæknihnúta |
|
Uppsetning kammers |
ICP etshólf + descum chambers + flutningseining |
ICP etshólf + flutningseining |
ICP etshólf + flutningseining |
|
Lykilferlismöguleikar |
Há-þéttleiki Al samtengja æting, Al pad æting (BEOL ferli) |
Al samtengja æting, Al pad æting, W Recess |
Há-nákvæmni Al-samtengingaræting, Al-púðaæting, W Recess |
|
Etch Uniformity |
Iðnaðar-leiðandi einsleitnistjórnun fyrir undir-0,18μm háþéttleikaferla |
Minna en eða jafnt og 8% innan-obláts; Minna en eða jafnt og 5% oblátur-til-obláts |
Minna en eða jafnt og 5% innan-obláts; Minna en eða jafnt og 3% obláta-til-obláts |
|
Mánaðarleg afkastageta |
Fínstillt fyrir háa-12 tommu IC BEOL fjöldaframleiðslu (samsvarar stóru afköstum) |
Allt að 8.000 stykki/mánuði (fyrir 4μm-þykkt Al ætingu) |
Allt að 20.000 stykki/mánuði (fyrir 0,1μm-hnút Al samtengingarætingu) |
|
MTBC |
Uppfyllir 12-tommu stöðugleikastaðla IC fjöldaframleiðslu |
Samræmast 8 tommu stórkostlegum grunnstöðugleikakröfum |
Allt að 400 RF-klst (aukinn stöðugleiki fyrir mikla-afköst framleiðslu) |
|
Iðnaðarsamræmi |
Er í samræmi við hálfleiðara massa-framleiðslustaðla fyrir 12 tommu IC BEOL línur |
Passar 8 tommu IC frábært pláss og kostnaðarkröfur; samhæft við almenna BEOL vinnuflæði |
Hannað fyrir há-hagkvæmni 8 tommu IC fjöldaframleiðslu; uppfyllir háþróaða hnútstöðugleika og kröfur um ávöxtun |
Algengar spurningar
Sp.: Hvaða oblátastærðir styðja kerfin?
A: 12 tommu kerfi: 12 tommu (300 mm) IC oblátur; 8 tommu kerfi: 8 tommu IC oblátur (MES 800 samhæft við 6 tommu í gegnum valfrjálst ESC).
Sp.: Hvaða kjarnaferla ná þeir yfir?
A: Allt styður Al samtengingu/púðaætingu; 8 tommu gerðir bæta við W Recess samhæfni.
Sp.: Hver er mánaðarleg afkastageta 8 tommu gerða?
A: MES 800: 8.000 stk (4μm Al); MES 800P: 20.000 stk (0,1μm Al).
Sp.: Hver er MTBC MES 800P?
Svar: Allt að 400 RF-klst fyrir aukinn há-afkaststöðugleika.
maq per Qat: málm ets kerfi, Kína málm ets kerfi framleiðendur, birgja
