Vöruyfirlit
Nice-Tech býður upp á tvö sérstök kísilætarkerfi fyrir mismunandi oblátastærðir, bæði byggð á ICP tækni og sérsniðin fyrir IC fjöldaframleiðslu.
12 tommu kerfi (SES-12)
Leggur áherslu á 12-tommu IC framhlið-ferla (FEOL). Samsett úr ICP ætingarhólfum og flutningseiningu, nær það yfir kísilætingu, díselræna ets, hlið ets, W recess og SADP, hannað fyrir hárnákvæmni munstur á rökfræði og minnistækjum.
8 tommu kerfi (SES-8)
Fjölherbergi-hólfakerfi fyrir 8-tommu einingar, með hliðarferli í miðju. Það tryggir Minna en eða jafnt og 5% innan -obláts og obláts-þráðar ætingar einsleitni, framúrskarandi agnastýringu og styður AA, STI, spacer og W recess.
Kostir
Breitt ferli umfang
Við höfum tvær aðaluppsetningar hér. 12 tommu kerfið tekur á sig alls kyns FEOL ferla, ekkert mál. Hvað varðar 8 tommuna? Það einbeitir sér að hliði og tengdum ferlum, og það passar fullkomlega við hnúta 0,11μm og hærri.
Mikil nákvæmni og stöðugleiki
Nákvæmni er þar sem þessi kerfi skína. 12-tommu líkanið býður upp á einsleitni í topp-flokki og valmöguleika - nákvæmlega það sem háþróuð ferli krefjast. 8 tommu útgáfan heldur sínu striki líka: lítið einsleitni frávik, auk strangrar agnastjórnunar, svo þú getur treyst á stöðugar niðurstöður.
Fjölda-framleiðsla og kostnaður-hagkvæmni
Það besta af öllu er að báðir eru tilbúnir til fjöldaframleiðslu. 12-tommu er smíðaður fyrir stórar-framleiðslulínur, sem er skynsamlegt fyrir mikið-magn. 8-tommu, þó, er snjallt val ef þú ert að uppfæra getu - það sparar bæði pláss og kostnað, sem er alltaf plús fyrir rekstur.
Umsókn
IC FEOL framleiðsla
12 tommu kerfi fyrir 12 tommu rökfræði/minni FEOL ferla; 8 tommu kerfi fyrir 8 tommu hliðarætingu.
Ítarlegir ferli
12 tommu kerfi styður SADP/W innfellingu; 8 tommu kerfi virkar fyrir STI/spacer ferla.
Uppfærsla á getu
12-tommu fellur saman í stórar gerðir; 8-tommu veitir hagkvæman stuðning fyrir miðlungslítil verk.
Færibreytur
|
Flokkur |
12 tommu sílikon ætingarkerfi |
8 tommu sílikon ætingarkerfi |
|
Samhæfni obláta |
12-tommu (300 mm) IC oblátur, sérsniðnar fyrir fjöldaframleiðslulínur |
8 tommu IC diskur; samhæft við 0,11μm og háþróaða tæknihnúta |
|
Uppsetning kammers |
ICP etshólf + flutningseining |
ICP etshólf + flutningseining; fjöl-hönnun fyrir fjöldaframleiðslu |
|
Lykilferlismöguleikar |
Kísilæta, rafræn ets, hlið ets, W recess, SADP |
Gate ets, AA, STI, spacer ets, W recess |
|
Etch Uniformity |
Frábær einsleitnistjórnun (uppfyllir háþróaða hnúta nákvæmni staðla) |
Minna en eða jafnt og 5% innan-obláts; Minna en eða jafnt og 5% oblátur-til-obláts |
|
Agnastjórnun |
Strangt agnaeftirlit fyrir háa vöruafrakstur |
Framúrskarandi agnastýring fyrir stöðuga fjöldaframleiðslu |
|
Iðnaðarsamræmi |
Hentar fyrir 12-tommu IC magnframleiðslu; er í samræmi við hálfleiðara fjöldaframleiðslustaðla |
Óháð bjartsýni hönnun; passar 8 tommu frábært pláss og kostnaðarkröfur fyrir uppfærslu getu |
Algengar spurningar
Sp.: Hvaða oblátastærðir styðja kerfin tvö?
A: 12 tommu kerfið styður 12 tommu (300 mm) IC diska og 8 tommu kerfið styður 8 tommu IC diska.
Sp.: Hvaða kjarnaferla ná þeir yfir?
A: 12-tommu kerfið nær yfir sílikon ets, dielectric ets, SADP, W recess, osfrv .; 8 tommu kerfið einbeitir sér að gate etch og styður STI, spacer etch, osfrv.
Sp.: Hvaða tæknihnútar eru þeir samhæfðir?
A: 12 tommu kerfið lagar sig að háþróaðri tæknihnútum; 8 tommu kerfið er samhæft við 0,11μm og yfir háþróaða hnúta.
Sp.: Eru bæði kerfin hentug fyrir fjöldaframleiðslu?
A: Já. 12-tommu kerfið passar við stórar-framleiðslulínur en 8-tommu kerfið er plásssparandi og hagkvæmt fyrir fjöldaframleiðslu.
Sp.: Hver er einsleitni etsunar 8 tommu kerfisins?
A: Það hefur minna en eða jafnt og 5% innan-oblátu einsleitni og minna en eða jafnt og 5% oblátu-til-oblátu einsleitni.
maq per Qat: kísilætingarkerfi, Kína kísilætarkerfi framleiðendur, birgjar
