Vöruyfirlit
Þetta er kjarnaferlisverkfæri sem er sérstaklega sérsniðið til að búa til votoxunarofna (lóðrétt-holayfirborðs-emitting laser (VCSEL) tæki). Hann er smíðaður til að takast á við ferlaþarfir bæði ljósa og hálfleiðara tækis-með því að nota sérsniðna blautsúrefnisoxunartækni, hann býr til þétt sjónræn lokunarlög og rafeinangrunarbyggingar í VCSELs. Auk þess virkar það fyrir almenna aðgerð á yfirborði obláta, sem veitir lykilferlisstuðning til að auka afköst tækisins.
The Wet Oxidation Furnace stór plús er með mikilli-nákvæmnistjórnun: einsleitni hitastigs er í hæsta-flokki, vatnsgufustjórnun er auðveld og oxunarsamkvæmni er traust. Það þýðir að það uppfyllir strangar kröfur um stöðugleika í ferlinu sem VCSEL tæki krefjast stað-á. Það er einnig hannað með áreiðanlegu kerfi, keyrir jafnt og þétt og passar beint inn í nákvæmnisferlissviðsmyndir fyrir framleiðslu ljósrafeindatækja. Hvort sem það er lítill-hópur R&D hjá rannsóknarstofnunum eða stór-framleiðsla í fyrirtækjum, uppfyllir það þessar fjölbreyttu þarfir-að veitir áreiðanlegan búnaðarstuðning fyrir tæknibyltingar og getuútfærslur á VCSEL-tengdum sviðum eins og sjónsamskiptum, skynjun, lidar og fleira.
Umsókns
- Framleiðsla VCSEL-tækja: Sem kjarnaverkfæri fyrir VCSEL-leysisframleiðslu, skapar það þétt sjónræn lokunarlög og rafeinangrunarmannvirki með sérsniðnum blauts súrefnisoxunarferlum. Það styður gerð -afkastamikilla VCSELs sem notuð eru í sjónsamskiptum, þrívíddarskynjun neytenda rafeindatækni, lidar í bílum og öðrum sviðum.
- Wafer Surface Passivation: Virkar með alhliða wafer Surface Passivation ferli fyrir ljós- og hálfleiðara tæki. Það hámarkar yfirborðsástand skúffunnar, eykur áreiðanleika og endingartíma ljósnema og hálfleiðaraskynjara.
- Rannsóknir og þróun á háþróaðri sjónrænum efnum: Býður upp á stöðugan, nákvæman tilraunavettvang fyrir rannsóknarstofnanir. Það styður könnun á breytum fyrir blautoxunarferli fyrir ný ljósrafeindaefni (eins og háþróuð gallíumarseníð-efni) og hjálpar til við að efla háþróaða-línutækni í R&D.
Kostir
Mikil-nákvæmni ferlistýring: Veitir framúrskarandi einsleitni hitastigs, auðvelda aðlögun vatnsgufu og áreiðanlega oxunarsamkvæmni. Þetta tryggir uppbyggingu einsleitni VCSEL tækja og forðast breytileika í frammistöðu af völdum ferlisveiflna.
Mikill áreiðanleiki kerfisins: Er með stöðuga uppbyggingu og þroskað stjórnkerfi fyrir stöðuga{{0} langtíma notkun. Það uppfyllir kröfur um nákvæmnisferli ljóstækja og dregur úr niður í miðbæ vegna bilana í búnaði.
Sterk ferlisamhæfni: Einbeitir sér að VCSEL blautoxun á meðan það styður alhliða passiveringsmeðferðir. Það lagar sig að framleiðslu og rannsóknum á ýmsum vörum og bætir nýtingu búnaðar.
Hár afrakstursábyrgð: Bætir rafeinangrun VCSEL tækja og áhrif ljóssviðslokunar með stöðugri hitastýringu, nákvæmri vatnsgufustjórnun og fínstilltu ferli-sem lækkar bilanatíðni á áhrifaríkan hátt.
Færibreytur
|
Wafla stærð |
4-6 tommur |
|
Hitastig |
300 gráður -500 gráður |
|
Gildandi ferli |
VCSEL blaut oxun |
|
Nákvæmni hitastýringar |
Minna en eða jafnt og ±0,5 gráður |
|
Flatt svæði |
250 mm |
|
Einsleitni oxunar |
R Minna en eða jafnt og 1μm |
Algengar spurningar
Er þessi búnaður eingöngu notaður til framleiðslu á blautoxunarofnum?
Nei, það er ekki takmarkað við það. Fyrir utan kjarna VCSEL tæki blautoxunarferlið, er það einnig samhæft við almenna obláta yfirborðsaðgerðarmeðferð fyrir ljós- og hálfleiðara tæki, aðlagast framleiðslu og rannsóknum og þróun ýmissa vara.
Hversu nákvæmar eru hita- og rakastjórnunarstillingar hvað varðar vinnslustjórnun?
Framúrskarandi einsleitni hitastigs, þægileg rakastjórnun og góð oxunarsamkvæmni. Það tryggir nákvæmlega einsleitni sjón-lokunarlagsins og rafeinangrunaruppbyggingu VCSEL tækja og forðast áhrif á frammistöðu frá ferlisveiflum.
Hversu stöðug er rekstur búnaðarins og getur hann uppfyllt fjöldaframleiðslu eða langtíma rannsóknir og þróunarþarfir?
Með því að samþykkja stöðuga uppbyggingu og þroskað eftirlitskerfi getur það starfað stöðugt í langan tíma, sem dregur úr niður í miðbæ vegna bilana. Það uppfyllir stöðugar fjöldaframleiðslukröfur fyrirtækja og langtíma tilraunaþarfir rannsóknarstofnana.
Getur það stutt við könnun á ferlum fyrir ný sjónræn efni?
Já, það býður upp á stöðugan og nákvæman tilraunavettvang fyrir rannsóknastofnanir, sem styður könnun á breytum fyrir blautoxunarferli fyrir ný sjónræn efni eins og endurbætt gallíumarseníð-undirstaða efni, sem stuðlar að fremstu-tækni R&D.
Eru einhverjar sérstakar kröfur um oblátastærð?
Það lagar sig aðallega að algengum skífuforskriftum VCSEL og tengdra tækja. Sérstaklega getur það veitt sérsniðnar aðlögunarlausnir í samræmi við kröfur um oblátastærð raunverulegrar framleiðslu notenda eða R&D.
maq per Qat: blautur oxunarofni, Kína blautoxunarofni framleiðendur, birgjar
