Vöruyfirlit

Þessi hálf--sjálfvirki RTP-búnaður er mjög hagnýtur, fær um að vinna úr oblátum frá 8 til 12 tommu. Hálf-sjálfvirkur RTP búnaður býður upp á nákvæma hitastýringu og mjög lágt súrefnisinnihald, sem gerir hann tilvalinn fyrir forrit sem krefjast mikils vinnsluhreinleika. Ennfremur er það eiginleika-ríkt, styður bæði andrúmslofts- og lofttæmisvinnsluaðferðir og inniheldur þrefalda öryggiseiginleika. Það er fullkomið fyrir ferla eins og ITO hagræðingu og kísilblendiglæðingu í miðlungs-framleiðslu.

Kostir

Breið aðlögunarhæfni:

Meðhöndlar 8-12 tommu oblátur, uppfyllir þarfir lotuframleiðslu af mismunandi stærðum. Sveigjanlegar lampa og SCR stillingar laga sig að fjölbreyttum ferli atburðarás.

Sjálfvirkni eykur skilvirkni:

Þó að enn sé þörf á handvirkri hleðslu og affermingu á oblátum opnast og lokar hólfshurðin sjálfkrafa eftir að ferlið er ræst, sem dregur úr handvirkum inngripum og bætir skilvirkni í rekstri og samræmi í ferlinu.

Nákvæmt andrúmsloft:

Súrefnisinnihald<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Öruggt og áreiðanlegt:

Búin þreföldum öryggiseiginleikum, ásamt sjálfvirkri hólfhurðarstýringu, sem dregur úr rekstrar- og vinnsluáhættu og tryggir stöðugan rekstur búnaðar.

Færibreytur

Fyrirmynd	RTP-SA-8	RTP-SA-12
Wafel Stærð	8 tommur og neðan	12 tommur og neðan
Stærð	970mm×1550mm×2160mm(B×D×H)	1050mm×1740mm×2240mm (W×D×H)
Hitastig	RT ~ ~ 800 gráður (Stýrt af hitamæli) 500 gráður ~ 1250 gráður (Stýrt af pýrometer)	RT ~ ~ 800 gráður (Stýrt af hitamæli) 500 gráður ~ 1250 gráður (Stýrt af pýrometer)
Hámarks hitunarhlutfall	150 gráður /s --- Aðeins oblátur 20 gráður /s --- SiC burðarefni 30 gráður /s --- Grafítburðarhúð SiC	150 gráður /s --- Aðeins oblátur 20 gráður /s --- SiC burðarefni 30 gráður /s --- Grafítburðarhúð SiC
Hitastig einsleitni	Minna en eða jafnt og ±3 gráður @ Minna en eða jafnt og 600 gráður Minna en eða jafnt og ±0,5% @ ＞600 gráður	Minna en eða jafnt og ±3 gráður @ Minna en eða jafnt og 600 gráður Minna en eða jafnt og ±0,5% @ ＞600 gráður
Endurtekningarhæfni hitastigs	±1 gráðu	±1 gráðu
Fjöldi lampa/SCR	33 ea / 10 sett	41 ea / 16 sett 55ea / 24 sett
Hámarks MFC	6	6
Lægsti þrýstingur	30mTorr	30mTorr
Lekahlutfall	10mTorr/mín	10mTorr/mín
O₂Hlutfall	＜1 ppm	＜1 ppm
Hámark/meðal afl	90/50 Kw	100/60 Kw
Spenna	380V/ 60HZ/ 3 fasa 5 vírar	380V/ 60HZ/ 3 fasa 5 vírar
Eftirlitsaðferð	PC stjórn	PC stjórn

Algengar spurningar

1.Chamber hurð opnast/lokast ekki sjálfkrafa?

Athugaðu hvort ferlið hafi byrjað eðlilega. Endurræstu búnaðinn og reyndu aftur. Ef vandamálið er viðvarandi skaltu athuga raflögn hólfhurðarskynjarans.

2.Súrefnisinnihald fer yfir 1 ppm?

Skiptu út fyrir óvirku gasi með miklum-hreinleika. Athugaðu hvort leka sé í gasleiðslunni. Gerðu við og endurprófaðu súrefnismagn.

3.Ójöfn obláta hitun?

Staðfestu að oblátastærðin sé rétt (8/12 tommur). Hreinsaðu kvarshólfið. Ef vandamálið er viðvarandi skaltu hafa samband við verkfræðing til að stilla afl lampans.

4.Wafer rennur auðveldlega við handvirka hleðslu/affermingu?

Hreinsaðu yfirborð burðarefnisins. Ýttu skúffunni varlega í miðjuna meðan á hleðslu/losun stendur. Notaðu-hlífarlausa, ryk-hanska.

5.Hvernig á að stoppa í neyðartilvikum?

Ýttu á "EMO Neyðarstöðvun" til að slökkva á hitagjafanum. Eftir að þú hefur leyst vandamálið skaltu ýta á "Endurstilla" hnappinn til að endurræsa.