Vöruyfirlit
Sjálfvirki RTP búnaðurinn sem er samhæfur við 8-12 tommu oblátur, með stakri/tvíþættri-hönnun og sérstaklega hannaður fyrir fjöldaframleiðslu. Með því að samþætta vélmenni og aðra íhluti nær það fullkomlega sjálfvirkri hleðslu, glæðingu og kælingu. Það getur tengst framleiðslustjórnunarkerfum og styður mismunandi ferla fyrir eitt oblátufat. Með nákvæmri hitastýringu og stöðugri virkni (brjóthlutfall skífu Minna en eða jafnt og 1/10000), felur það í sér margar öryggisvarnir og er hentugur fyrir hárnákvæmni glæðingarferli í hálfleiðurum og öðrum sviðum.
Eiginleikar
Við höfum búnaðarvalkosti sem nær yfir mismunandi breiddir og hólfafjölda, sem allir skila stöðugri afköstum yfir helstu færibreytur.
Það virkar með bæði opnum snældum og SMIF uppsetningum, meðhöndlar allt ferlið sjálfkrafa-frá kortlagningu og jöfnun til wafer Transfer, glæðingu og kælingu.
Hugbúnaðurinn gerir þér kleift að velja forstilltar uppskriftir sem eru sérsniðnar að einstökum oblátum í sömu snældu, á sama tíma og þú heldur þér uppfærðum með-rauntíma vinnslustöðu.
Þetta fullkomlega sjálfvirka kerfi fellur óaðfinnanlega inn í núverandi EAP/MES innviði fyrir sléttari samhæfingu vinnuflæðis.
Við uppsetningu og villuleit munu verkfræðingar okkar eftir-sölu vera á-síðunni til að veita aðstoð-og taka á vandamálum sem upp koma.
Kostir
- Með því að nota tvöfalda innrauða halógenlampa til upphitunar, ásamt hraðri köfnunarefniskælingu, státar kerfið af skilvirkri og stöðugri hitauppstreymi.
- Sérstök lampaflokkunarhönnun tryggir jafnara hitastig á öllu vinnslusvæðinu.
- Innbyggt-PID-stýringaralgrím gerir kleift að stilla-rauntíma á afli lampa og viðhalda nákvæmri hitastýringu í gegnum ferlið.
- Þriggja- þrepa aðgangsstjórnun notenda tryggir þægilega og örugga upplýsingastýringu. Helstu hugbúnaðarviðmótið sýnir lykilbreytur eins og gasflæðishraða, hitastig og lofttæmisstig í rauntíma, sem gefur skýra yfirsýn yfir stöðuna.
- Kerfið vistar sjálfkrafa öll ferli-tengd gögn til að auðvelda rekjanleika í framtíðinni.
- Það er með yfirgripsmikla fráviksvörn sem kveikir strax á vörn þegar bilun greinist, þar á meðal ofhitnun (vatns-kælt álhólf Stærra en eða jafnt og 70 gráður), óeðlileg aflestur á hitaeiningum, óeðlilegt hitaafl, ólæst ofnhurð, of mikill gasþrýstingur, ófullnægjandi vatnsrennsli, og vatnsleka.
- Hægt er að kveikja á neyðarstöðvunaraðgerð með einum hnappi, sem truflar strax alla ferla og slekkur á hitagjafanum.
Færibreytur
|
Fyrirmynd |
RTP-200 |
RTP-300 |
|
Wafel Stærð |
8 tommur og neðan 12 tommur og neðan |
8 tommur og neðan 12 tommur og neðan |
|
Kammernúmer |
1 |
2 |
|
Hlaða kassettunúmer |
2 |
2 eða 3 |
|
Hlaða kassettu Aðferð |
SMIF eða Open Cassette |
|
|
Stærð |
1600mm×2450mm×2200mm (W×D×H) |
2100mm×2450mm×2200mm (W×D×H) |
|
Hitastig |
RT ~ ~ 800 gráður (Stýrt af hitamæli) 500 gráður ~ 1250 gráður (Stýrt af pýrometer) |
RT ~ ~ 800 gráður (Stýrt af hitamæli) 500 gráður ~ 1250 gráður (Stýrt af pýrometer) |
|
Hámarks hitunarhlutfall |
150 gráður /s --- Aðeins oblátur 20 gráður /s --- SiC burðarefni 30 gráður /s --- Grafítburðarhúð SiC |
150 gráður /s --- Aðeins oblátur 20 gráður /s --- SiC burðarefni 30 gráður /s --- Grafítburðarhúð SiC |
|
Hitastig einsleitni |
Minna en eða jafnt og ±3 gráður @ Minna en eða jafnt og 600 gráður Minna en eða jafnt og ±0,5% @ ＞600 gráður |
Minna en eða jafnt og ±3 gráður @ Minna en eða jafnt og 600 gráður Minna en eða jafnt og ±0,5% @ ＞600 gráður |
|
Endurtekningarhæfni hitastigs |
±1 gráðu |
±1 gráðu |
|
Fjöldi lampa/SCR |
33 ea / 10 sett |
45 ea / 16 sett 55 ea / 24 sett |
|
Hámarks MFC |
6 |
6 |
|
Lægsti þrýstingur |
30mTorr |
30mTorr |
|
Lekahlutfall |
10mTorr/mín |
10mTorr/mín |
|
O2Hlutfall |
＜1 ppm |
＜1 ppm |
|
Sjálfvirk |
OCR + Vélmenni (Tvískiptur armur) + Fingur (Vacuum / Bernoulli) + Aligner + Kælistöð |
|
|
WPH(spá) |
5 |
|
|
Spenntur |
＞92% |
|
|
Meðaltími til að þrífa (MTTC) |
Minna en eða jafnt og 6klst |
|
|
Meðaltími til viðgerðar (MTTR) |
Minna en eða jafnt og 4 klst |
|
|
Meðaltími milli bilana (MTBF) |
Stærra en eða jafnt og 200 klukkustundir |
|
|
Mean Wafers Between Breakage (MWBB) |
Minna en eða jafnt og 1 af hverjum 10.000 oblátum |
|
|
Hámark/meðal afl |
90/ 60 Kw(ATS-8) 100/ 80 Kw(ATS-12) |
180/ 120 Kw(DTS-8) 200/ 160 Kw(DTS-12) |
|
Spenna |
380V/ 60HZ/ 3 fasa 5 vírar |
380V/ 60HZ/ 3 fasa 5 vírar |
|
Eftirlitsaðferð |
PC stjórn |
PC stjórn |
Algengar spurningar
Er sjálfvirkur RTP búnaður samhæfur við 8/12 tommu oblátur? Krefst þess að skipta um búnað til uppbyggingar upp í 12 tommu framleiðslu?
Fullkomlega samhæft. Stækkun þarf aðeins aðlögun hugbúnaðarbreytu; ekki þarf að skipta um búnað, sem dregur úr kostnaði.
Getur það samþætt núverandi EAP/MES kerfi? Mun það hafa áhrif á framleiðslulínuna?
Óaðfinnanlegur samþætting er möguleg. Verkfræðingar munu sjá um-kembiforrit á staðnum, bæta framleiðslulínu skilvirkni og samkvæmni.
Er hægt að stilla mismunandi ferla fyrir sama oblátukassann? Er aðgerðin flókin?
Styður "marga ferla á hvert fat." Hugbúnaðarviðmótið gerir auðvelt val og stillingar, sem krefst ekki viðbótarþjálfunar.
Er öryggisvernd í neyðartilvikum? Mun það skemma oblátur eða skaða starfsfólk?
Það er með neyðarstöðvun og sjálfvirka áhættugreiningarvörn til að vernda bæði oblátur og starfsfólk.
Vottun
◆ Fylgnivottun SEMI S2
maq per Qat: sjálfvirkur rtp búnaður, Kína sjálfvirkur rtp búnaður framleiðendur, birgjar
