Vöruyfirlit
Lóðrétta ofnrörið okkar er sérhæfð varmavinnslulausn sem er smíðuð fyrir samsetta hálfleiðara og ljós rafeindaframleiðslu. Það er hannað til að skila stöðugu, endurteknu hitauppstreymi fyrir mikilvæga flísarferla, sem sameinar öfluga vélrænni hönnun með nákvæmri hita- og gasstýringu til að styðja við mikið-magn framleiðslu með þéttum vinnslugluggum.
Kostir
Stöðug, áreiðanleg frammistaða: Kerfið er hannað fyrir langtíma-tíma, lítinn-niðurtíma, með stöðugri hitauppstreymi og endurtekningarhæfni ferla sem hjálpar til við að viðhalda mikilli afrakstur í framleiðslulotum.
Öflugar öryggisráðstafanir: Lagskipt öryggislæsingarkerfi fylgist stöðugt með hitastigi, þrýstingi og gasaðstæðum og bregst sjálfkrafa við frávikum til að vernda rekstraraðila, oblátur og búnað.
Innsæi, skilvirkur rekstur: Viðmótið og vinnuflæðið er straumlínulagað til að draga úr þjálfunartíma og mannlegum mistökum, á meðan fínstillt hleðslu- og vinnslulotur bæta heildarafköst og auðvelda viðhald.
Sveigjanleg ferli umfang: Samhæft við 6 tommu og 8 tommu oblátur, geymir allt að 150 stykki í hverri keyrslu, og virkar frá 400 gráður til 1250 gráður, sem gerir það hentugt fyrir margs konar hitauppstreymi í nútíma tækjaframleiðslu.
Umsóknir
Þetta lóðrétta ofnrör styður alhliða hitauppstreymi sem notuð eru í hálfleiðurum og ljósa rafeindaframleiðslu:
Oxun: myndar hágæða{{0}rafmagnslög á flötum flötum
Glæðing: létta álagi, gera við galla og stilla rafeiginleika efnisins
Málblöndur: stilla samsetningu og frammistöðu þunnra-filmublöndur
PI-herðing: fjölliða þvertenging og stöðugleiki fyrir pólýimíðlög
Þunn-filmuútfelling: Poly, TEOS, SiN, HTO og önnur lykilferli kvikmyndavaxtar
Algengar spurningar
Sp.: 1. Hvað er lóðrétt ofnrör?
A: Lóðrétt ofnrör er hár-varmavinnslubúnaður fyrir hálfleiðara- og ljósa rafeindaframleiðslu, notað til oxunar, glæðingar, málmblöndur, PI-herðingar og þunnfilmuútfellingar.
Sp.: 2. Til hvaða ferla er lóðrétta ofnrörið notað?
A: Það styður oxun, glæðingu, málmblöndur, PI-herðingu, pólý, TEOS, SiN, HTO og önnur þunnfilmuvaxtarferli.
Sp.: 3. Hvaða oblátastærðir og hitastig styður það?
A: Það styður 6 tommu og 8 tommu oblátur (allt að 150 stykki í hverri lotu) með vinnsluhitastig á bilinu 400 gráður -1250 gráður.
Sp.: 4. Hverjir eru helstu kostir þessa lóðrétta ofnrörs?
A: Mikill áreiðanleiki og stöðugleiki, fullkomið öryggislæsingarkerfi, notendavæn notkun, mikil afköst og framúrskarandi einsleitni ferli.
Sp.: 5. Er það auðvelt að stjórna og viðhalda?
A: Já, það er með einfalt viðmót, straumlínulagað vinnuflæði og litlar kröfur um viðhald.
Sp.: 6. Er hægt að aðlaga það fyrir sérstaka ferla?
A: Já, við bjóðum upp á aðlögun fyrir hitastig, gaskerfi, vinnsluuppskriftir og hleðsluaðferðir til að mæta sérstökum þörfum.
maq per Qat: lóðrétt hitauppstreymi vinnslu ofni, Kína lóðrétt hitauppstreymi vinnslu ofni framleiðendur, birgja
