Samkvæmt mismunandi notkun þeirra er hægt að skipta þeim í þá sem notuð eru til flísframleiðslu, pökkunar og LED framleiðslu.
Samkvæmt mismunandi ljósgjöfum má skipta þeim í útfjólubláa ljósgjafa (UV), djúpa útfjólubláa ljósgjafa (DUV) og öfgafulla útfjólubláa ljósgjafa (EUV). Bylgjulengd ljósgjafans hefur áhrif á ferli steinþrykkja vélarinnar.
Útfjólubláa steinþrykkjavélin hefur tekið upp nýja nálgun til að veita enn frekar styttri bylgjulengdar ljósgjafa. Aðalaðferðin sem nú er notuð er að geisla excimer leysir á tindropa rafall, spennandi 13,5nm ljóseindir sem ljósgjafa fyrir steinþrykkjavélina. ASML er sem stendur eini framleiðandinn í heiminum sem getur hannað og framleitt EUV steinþrykkbúnað.
Samkvæmt mismunandi notkunaraðferðum er hægt að skipta því í snertilithography, bein skrift steinþrykk og vörpun steinþrykk.
hafðu samband við prentun
Hafðu samband við Prentun
Grímuplatan er í beinni snertingu við ljósþolslagið. Upplausn óvarða mynstrsins er sambærileg við mynstrið á grímuplötunni og búnaðurinn er einfaldur. Samkvæmt aðferðinni við að beita krafti er hægt að skipta snertingu í mjúka snertingu, harða snertingu og lofttæmissnertingu.
1a. Mjúk snerting vísar til þess ferlis að festa undirlag á bakka (svipað og undirlagsstaðsetningaraðferð límdreifara), með grímu sem hylur undirlagið;
1b. Harður snerting er ferlið við að ýta undirlaginu upp undir þrýstingi (köfnunarefni) til að komast í snertingu við grímuplötuna;
1c. Tómarúmssnerting er ferlið við að draga út loft á milli grímuplötunnar og undirlagsins til að tryggja betri viðloðun.
Eiginleikar: ljósþolsmengunargrímuborð; Grímuplötur eru viðkvæmar fyrir skemmdum og hafa stuttan líftíma (aðeins 5 til 25 notkun); Auðvelt að safna göllum.
Nálægðar steinþrykk
Nálægðarprentun
Það er lítið bil (u.þ.b. 2,5-25 μm) á milli grímuplötunnar og botnlags ljósþols undirlagsins. Það getur í raun komið í veg fyrir skemmdir á grímuplötunni sem stafar af beinni snertingu við photoresist, sem gerir grímuna og photoresist undirlagið endingargott til notkunar; Maskarinn hefur langan líftíma (sem má auka um meira en 10 sinnum) og færri grafískar galla. Nálægðarlithography er mikið notað í nútíma ljóslitafræðiferlum.
