Húðunar- og þróunarkerfið er gír-eða-brjótur í hálfleiðaraframleiðslu-afköst þess mótar beinlínis nákvæmni hringrásar, framleiðsluhagkvæmni og lokaafrakstur. Ef þú ert fastur í að velja réttu líkanið, þá er hér-vitlaus leiðarvísir til að skera í gegnum hávaðann:
1. Byrjaðu á raunverulegu notkunartilvikinu þínu
Ekki hoppa út í forskriftir fyrst-kortaðu hvað þú ert raunverulega að nota það í:
Fjölda framleiðslulínur(hugsaðu um rafmagnstæki, LED verksmiðjur): Settu afköst og áreiðanleika í forgang. Miðaðu við að WPH (wafers á klukkustund) sé að minnsta kosti 150, MTBF (meðaltími milli bilana) yfir 1000 klukkustundir og 95% spennutíma eða hærri-þú hefur ekki efni á tíðum niðritíma.
R&D rannsóknarstofur eða lítil-lotuverkefni: Sveigjanleiki skiptir mestu máli. Leitaðu að búnaði sem virkar með mörgum ferlum (I line, PI, PR, o.s.frv.) og þolir erfiðar oblátur-skekktar, ferkantaðar eða óvenjulegar-stærðar.
Sérstakar flísþarfir:
2-6 tommu samsettir hálfleiðarar eða LED? UTW-1500 eða UTW1500X hentar vel.
8-12 tommu hágæða flís eða CoWoS umbúðir? UTW-3000 er sá eini sem styður þessar stærri oblátur.
2. Einbeittu þér að sérstakrinum sem skipta máli
Þú þarft ekki að leggja allar tölur á minnið-núlla í þessum lykiltölum:
Nákvæmni: Lágmarkslínubreidd (350 nm fyrir grunnforrit, niður í 45 nm fyrir háa-flögur) og brothraði obláta (verður að vera minna en eða jafnt og 0,01%-jafnvel örlítið tap bætist við).
Afköst: WPH er á bilinu 150 (UTW1500X) til 200 (UTW-3000) - veldu það sem passar við framleiðsluhraða þinn.
Samhæfni: Gakktu úr skugga um að það passi oblátastærð þína (2-12 tommur) og snældur (SMIF, OPEN CASSETTE eða FOUP fyrir hreinna umhverfi).
3. Ekki líta framhjá litlum smáatriðum
Litlir hlutir geta skipt miklu í daglegri-til-notkun:
Rými: Ef verkstæðið þitt er þröngt, er turninn-stíl UTW1500X (166015102000mm) sparar dýrmætt gólfpláss. Þarftu pláss til að stækka? Farðu í gerðir með 2C2D/4C4D+viðmóti (eins og UTW-1500 eða UTW-3000).
Efni: Hlutar sem snerta oblátur ættu að vera PEEK/PTFE/CERAMICS eða samhæfðir ASML/Nikon búnaði-forðist að menga diskana þína.
Hugbúnaður: Það þarf að keyra á Windows 10 eða nýrri-þarf ekkert að takast á við úrelt kerfi sem stangast á við uppsetninguna þína.
4. Athugaðu skilríki og stuðning-eftir sölu
Góð vél er aðeins eins áreiðanleg og fyrirtækið á bak við hana:
Farðu í framleiðendur með ISO, IAF og CNAS vottun -það er sönnun þess að þeir uppfylla iðnaðarstaðla.
Staðfestu að þeir bjóða upp á hraðvirkar viðgerðir (MTTR Minna en eða jafnt og 4 klukkustundir) og traustan tækniaðstoð. Þegar vél fer niður geturðu ekki beðið vikur eftir hjálp.
5. Fljótleg val á gerðum fyrir algengar aðstæður
2-6 tommu R&D eða framleiðsla í litlum lotum(samsettir hálfleiðarar, LED, ljóstæki): UTW-1500/UTW1500X. Það er -hagkvæmt, vinnur með flestum grunnferlum og meðhöndlar skekktar/ferkantaðar oblátur án áfalls-auk þess að brothlutfallið er mjög lágt (minna en eða jafnt og 0,01%).
4-8 tommu miðlungs flís fjöldaframleiðsla(afltæki, IC, minniskubbar): UTW-2000A. Með 180nm nákvæmni og stöðugu 160pcs/klst afköst, er það vinnuhestur fyrir miðlínur. Það kemur einnig með allt að 24 köldu/heitu plötueiningum fyrir stöðuga vinnslu.
8-12 tommu hágæða flís fjöldaframleiðsla(minniskubbar, CoWoS umbúðir): UTW-3000. Það er besti árangurinn hér - 45nm nákvæmni, 200 stk/klst afköst og stuðningur við háþróaða ferla eins og KrF og ArF. FOUP/SMIF snældasamhæfi heldur hlutunum hreinum fyrir viðkvæma flís.
Pláss-takmarkar litlar línur: UTW1500X. Þessi turnhönnun er bjargvættur fyrir þrönga staði og hún hittir enn öll helstu frammistöðumerki.
Sérstök aðferð eða skrýtnar-lagaðar oblátur: UTW-2000Z. Það nær yfir næstum hvert ferli (I line, KrF, ArF, Package) og hefur allt að 38 kalda/heita plötueiningar - fullkomnar fyrir sérsniðin störf eða erfiður undirlag.
