Í hálfleiðaraframleiðslu framleiðir hraðvarmavinnsla (RTP) gír eða brýtur afköst og vinnsluferli. Sjálfvirkur RTP búnaður er smíðaður fyrir fjöldaframleiðslu-vinnur með 8-12 tommu skífum, keyrir fullkomlega sjálfvirkan og heldur hitastigi í stað. En það er ekki alltaf einfalt að velja réttu líkanið og það getur verið flókið að finna út hvort það passar við vinnuflæðið þitt. Við skulum brjóta það niður í berum orðum.
I. Þrjú einföld skref til að velja réttu líkanið
Skref 1: Byrjaðu á framleiðslumagninu þínu (holrúm + kassettur)
Eitt-hol (RTP-200): 1 holrúm, 2 snældur, vinnur 5 oblátur á klukkustund og brotnar sjaldan niður (MTBF Stærri en eða jafnt og 200 klukkustundir). Ef þú ert að búa til 100 eða færri oblátur á dag, eða prófa nýja ferla, þá er þetta traust veðmál-gerir verkið gert án þess að eyða of miklu.
Tvöfalt-hola (RTP-300): 2 holrúm, 2-3 snældur, og pakkar meira afli (allt að 200Kw fyrir DTS-12 gerðina). Frábært ef þú ert að strokka út yfir 100 oblátur daglega og þarft stanslausa framleiðslu. Viðhaldið er líka fljótlegt (MTTR minna en eða jafnt og 4 klukkustundir), þannig að niður í miðbæ er í lágmarki.
Skref 2: Passaðu breytur við obláturnar þínar og ferla
Wafla stærð: Engin þörf á að skipta út búnaði ef þú ferð úr 8-tommu yfir í 12 tommu - bara fínstilltu hugbúnaðinn. Mjög hentugt ef þú ætlar að stækka síðar.
Hitastig þarfir:
Lág-hitavinnsla (stofuhitastig upp í 800 gráður): Notar hitaeiningar, heldur hitastigi í samræmi við ±3 gráður -gott fyrir lága-álagsglæðingu.
Hár-hitaverk (500-1250 gráður): Byggir á hitamælum, með einsleitni niður í ±0,5% yfir 600 gráður. Hitar of hratt-150 gráður /s fyrir berar oblátur - fullkomið fyrir jónaígræðsluvirkjun eða þunnfilmuglæðingu.
Tegund flutningsaðila: SiC burðarefni ná 20 gráður /s, en SiC-húðuð grafít fara upp í 30 gráður /s-velja það sem passar við uppsetninguna þína.
Skref 3: Gakktu úr skugga um að það spili vel við núverandi uppsetningu
Kassettuvalkostir: Virkar með bæði SMIF (lokað, ryk-laust) og Open Cassette (opið, auðveldara aðgengi) kerfi-engin þörf á að endurskoða núverandi uppsetningu.
Kerfissamþætting: Krókur beint inn í EAP/MES hugbúnaðinn þinn án vandræða. Auk þess geturðu stillt mismunandi ferli fyrir oblátur í sömu snældunni-mjög gagnlegt ef þú ert að gera litlar-lotur, sérsniðnar keyrslur.
Öryggi og rekjanleiki: Þrjú stig notendaaðgangs (heldur gögnum öruggum), vistar allar vinnsluupplýsingar til síðari skoðunar og slekkur á sér ef eitthvað fer úrskeiðis-eins og ofhitnun, vatnsleki eða þrýstingur sem er í ólagi. Eina-lykill neyðarstöðvunar er björgunaraðili og oblátabrot er mjög sjaldgæft (minna en 1 af hverjum 10.000).
II. Hver hagnast í raun á þessum búnaði?
Meðal-til-stórir hálfleiðaraframleiðendur(IC, afl hálfleiðarar, samsettir hálfleiðarar): Þú þarft gír sem keyrir á áreiðanlegan hátt (spenntur yfir 92%), helst nákvæmur (hitastig endurtekningarnákvæmni ±1 gráðu) og vex með fyrirtækinu þínu-þetta hakar við alla þessa reiti.
Hálfleiðara umbúðir/prófunarfyrirtæki: Wafer-stigi umbúðir (WLP) eða kerfi-í-pakka (SiP) þarfnast mildrar, samkvæmrar vinnslu. Lágt brothraði þessa búnaðar og sveigjanlegar ferlistillingar gera það að verkum að hann passar vel.
Hár-framleiðendur rafeindaefna(SiC/GaN hvarfefni, epitaxial oblátur): Þú þarft hreinan, einsleitan háan hita og hröð hitauppstreymi. Með súrefnisstyrk undir 1 ppm heldur þessi gír efninu þínu hreinu og hágæða-.
III. Þar sem það virkar best
Framleiðsla IC: Virkjun jóna ígræðslu og kísilglæðing-tvö mikilvæg skref þar sem ekki er hægt að slökkva á hitastýringu.
Rafmagns hálfleiðaraframleiðsla: Tekur við mikilli-hitameðferð fyrir SiC og GaN tæki, sem þurfa erfiða, nákvæma vinnslu.
Vinnsla undirlags/epitaxial obláta: Jafnar út galla og dregur úr streitu í þriðju-kyns hálfleiðara hvarfefni og epitaxial oblátum.
Umbúðir á -stigum obláta: Styrkir tengsl milli flögum og flísum án þess að skemma viðkvæma íhluti-allt sjálfvirkt, svo engin mannleg mistök.
Umbúðir
Að velja sjálfvirkan RTP búnað snýst um þrennt: passaðu holrúm við framleiðslumagn þitt, breytur við ferla þína og vertu viss um að það samþættist það sem þú hefur nú þegar. Það er ekki ein-stærð-sem hentar-öllum, en fyrir meðalstór-til-stór hálfleiðarafyrirtæki, pökkunar-/prófunarverslanir og rafeindaframleiðendur er þetta áreiðanlegur vinnuhestur-sérstaklega fyrir mikla-nákvæmni, massa{8}}vinnu. Ef þú ert að uppfæra glæðingarferla, stækka eða bara vantar meiri samkvæmni, þá er þessi búnaður þess virði að skoða nánar.
