Vöruyfirlit
Fínn-Tech MC150/MC200/MC300 röð MOCVD búnaður samþykkirlokuð-tengd lóðrétt sturtuhaus gasinnspýting líkan, með eðlislægum yfirburða einsleitni kostum með háum-þéttleika stöfuðum uppsprettugasstútum og stjórnanlega lítilli innspýtingarfjarlægð. Módelin þrjú eru hönnuð með mismunandi stærðum hvarfhólfs fyrir framleiðslugetu halla, styðja sveigjanlega uppsetningu undirlags og sérsniðna hönnun. Öll vélin hefur staðist SEMI-S2 og SEMI-S6 vottun, með MO uppspretta gasrásum allt að 10 brautir og Hyd gasrásir allt að 6 brautir, hentugur fyrir vöxt 2. til 4. kynslóðar hálfleiðara og tvívíddar efnis, sem nær yfir rannsóknir og þróun, tilraunapróf og fjöldaframleiðslusviðsmyndir.
Kostir
1. Superior Epitaxial árangur: Ga₂O₃ þekjulag á -skífuþykkt std 0,19%, efni sem byggir á InP/GaAs- með lágan bakgrunnsstyrk og mikla PL bylgjulengd einsleitni; framúrskarandi kristalgæði með skrefa-flæðisvexti á yfirborðsflæði.
2. Breitt efnisaðlögunarhæfni: Full umfang 2. til 4. kynslóðar hálfleiðara og tvívíddar efna, eitt tæki uppfyllir margvíslegar vaxtarþarfir.
3. Sveigjanlegur og sérhannaðar: Stillingar undirlagshalla, uppfæranlegar gasrásir/hitastillandi böð, valfrjálsar-vöktunaraðgerðir á staðnum, sem styður sérsniðna sérstillingu.
4. Mikið öryggi og auðveld notkun: SEMI-S2/SEMI-S6 vottað; mannleg hönnun fyrir einfalda notkun og viðhald, sanngjarnt skipulag viðhaldssvæðis.
5. Stöðugt ferlikerfi: Einstök gasrás og hitastillt baðstilling fyrir mismunandi efni, hár-nákvæmni MFC/PC stjórn, sem tryggir stöðugt og nákvæmt vaxtarferli.
Umsóknir
Hálfleiðari efnisvöxtur: Geta ræktað 2. kynslóð (AlGaInAs, AlGaInP, InGaAsP), 3. kynslóð (GaN, InGaN, AlN), 4. kynslóð (Ga₂O₃) hálfleiðara og tvívíð efni (grafen, MoS₂, WSe₂).
Terminal Fields: Notað til að útbúa þunnfilmuefni fyrir raforkutæki, sólarsellur, VCSEL, lýsingu, skjá og sjónsamskipti og notað í ný orkutæki, 5G grunnstöðvar, ljós-/vindorkuframleiðslu, radar- og gervihnattasamskipti o.s.frv.
Samsvörun við atburðarás: MC150 fyrir rannsóknir og þróun á rannsóknarstofu, MC200 fyrir miðlungs-lotuframleiðslu, MC300 fyrir stór-fjöldaframleiðslu í iðnaði.
Færibreytur
|
Vísitala |
MC150 |
MC200 |
MC300 |
|
Stærð viðhaldssvæðis (mm) |
6200*2900 |
7680*3900 |
7680*3900 |
|
Stilling undirlagsstærðar |
6x2", 1x4", 1x6" |
12x2", 3x4", 1x6", 1x8" |
19x2", 5x4", 3x6", 1x8", 1x12" |
|
Kjarnaöryggisvottun |
SEMI-S2, SEMI-S6 |
||
|
Hámarks MO uppspretta gasrásir |
10 brautir |
||
|
Max Hyd gasrásir |
6 brautir |
||
|
Max hitastillandi böð |
/ |
6 stórar eða 8 litlar |
6 stórar eða 8 litlar |
|
Hefðbundin eftirlitsaðgerð |
Endurspeglun/hitastig á-stað vöktun (R/T) |
||
|
Valfrjáls kjarnaaðgerðir |
Loftaðgerð, stillanleg vinnslubil (5~25 mm), vöktun á-skekkju á staðnum (C), styrkur MO uppspretta á-línueftirliti |
||
|
Dæmigert ferli árangur (Ga₂O₃) |
Á-oblátuþykkt std 0,19%; 500nm þykkt -Ga₂O₃ yfirborð RMS 0,254nm |
||
|
Dæmigert ferli árangur (InP/GaAs-byggt) |
PL bylgjulengd dreifing std allt að 0,014%; lág bakgrunnsstyrkur, mikil hreyfigeta |
||
|
Gildandi sviðsmynd |
Rannsóknir og þróun á rannsóknarstofu, -litlu tilraunapróf |
Miðlungs-lotuframleiðsla, iðnaðar tilraunapróf |
Stór-fjöldaframleiðsla í iðnaði |
|
Gasrásarstýring |
Há-nákvæmni MFC/PC fyrir allar gasrásir |
||
Algengar spurningar
Sp.: Hvaða efni getur búnaðurinn vaxið?
A: 2./3./4.-kyns hálfleiðarar (AlGaInAs, GaN, Ga₂O₃ o.s.frv.) og 2D efni (grafen, MoS₂, WSe₂).
Sp.: Hvaða öryggisvottorð hefur það?
A: SEMI-S2, SEMI-S6 vottað.
Sp.: Er hægt að uppfæra gas/hitakerfið?
A: Já. Hámark 10 MO gasleiðir, 6 Hyd gasleiðir; MC200/300 rúmar allt að 6 stór/8 lítil hitastillt bað.
Sp.: Hvaða eftirlitsaðgerðir eru í boði?
A: Staðlað: R/T á-stað vöktun; Valfrjálst: vöktun á skekkju, stillanlegt vinnslubil, eftirlit með MO einbeitingu á netinu.
Sp.: Helstu hápunktar frammistöðu ferlisins?
A: Ga₂O₃: á-skífuþykkt std 0,19%, yfirborð RMS 0,254nm (500nm); InP/GaAs: PL std 0,014%, lág bakgrunnsstyrkur.
Sp.: Er sérsniðin hönnun studd?
A: Já, sérsniðið undirlag, gas/hitaeiningar og eftirlitsaðgerðir eru fáanlegar.
maq per Qat: staðlað mocvd kerfi, Kína staðlað mocvd kerfi framleiðendur, birgjar
