Vöruyfirlit
Nice-Tech býður upp á 8 tommu og 12 tommu RIBS kerfi, sem sameina líkamlega sputtering (frá hefðbundnum IBS) með hvarfgjarnum lofttegundum fyrir nákvæma efnismynstur.
Algeng hönnun:Plasmamyndun er aðskilin frá skífusvæðinu til að koma í veg fyrir ó-rokgjarnar aukaafurðir; bæði halla/snúningur stuðningsstigs og eins/þyrpingar hólfa.
Mismunur:12-tommu er sérsniðin fyrir 12-tommu massaframleiðslu með jónagjafa með stórum þvermáli; 8-tommu er samhæft við 8/6/4-tommu oblátur, tilvalið fyrir meðalstóra framleiðslu og R&D.
Kostir
Sameiginlegir kostir
- Aukin skilvirkni og nákvæmni: Að blanda saman eðlisfræði og efnafræði eykur hraða til að fjarlægja efni og grímuval. Óháð stjórn á jóngeislaorku og flæði tryggir skarpa, nákvæma mynsturformgerð.
- Sveigjanleg aðlögunarhæfni: Sviðhalli er á bilinu -90 gráður til +80 gráður fyrir nákvæma hliðarhornsstillingu. Snúanlegt stig eykur einsleitni, hentar fullkomlega til framleiðslu á sérstökum tækjum.
- Víðtæk efnissamhæfi: Virkar óaðfinnanlega með málmum, málmblöndur, oxíðum og samsettum hálfleiðurum-sem takast á við jafnvel flóknustu efnismynsturáskoranir.
Mismunandi kostir
- 12-tommu: Er með jónagjafa með stórum þvermáli<1% etch uniformity (1σ). Ideal for high-precision 12-inch advanced processes.
- 8 tommu: Tilboð<3% uniformity in a compact, cost-effective design. Compatible with multi-size wafers, making it perfect for mature nodes and R&D projects.
Umsóknir
Algengar umsóknir
1. Sérstök sjónbygging: Skilar hallandi og logandi ristum -iðnaðarins-leiðandi getu-fyrir sjónsamskiptakerfi og leysitækni.
2. Flókin hálfleiðaratæki: Mynstur marg-laga málmstafla og misskiptingar, sem tryggir áreiðanlega afköst tækisins í mikilli-eftirspurn.
3. Há-nákvæmni skynjarar: Framleiðir MEMS og sjónskynjara með ofur-nákvæmri örbyggingu, sem eykur beint skynjaranæmi og rekstrarstöðugleika.
Aðgreindar umsóknir
1. 12-tommu: Hornsteinn fyrir 12-tommu háþróaðar framleiðslulínur, hugsaðu MRAM/PCRAM hagnýt lög og sílikon ljóseindaflögur. Samþættast óaðfinnanlega núverandi 12 tommu framleiðsluferli.
2. 8-tommu: Tilvalið fyrir 8 tommu þroskaða hnúta (Stærri en eða jafnt og 0,11μm) og R&D verkefni, svo sem smækkaða sjónskynjara og sérhæfða MEMS. Styður sveigjanlega skiptingu á diskastærð til að passa við fjölbreyttar þróunarþarfir.
Færibreytur
|
Flokkur |
8 tommu RIBS kerfi |
12 tommu RIBS kerfi |
|
Samhæfni obláta |
8-tommu (aðal); 6-tommu/4-tommu (valfrjálst, með samhæfum rafskautum) |
12 tommu (einkarétt) |
|
Etch Uniformity (1σ) |
<3% (standard ion source configuration) |
<1% (large-diameter ion source as standard, for high-precision 12-inch wafer processing) |
|
Ion Beam Control |
Óháð aðlögun á jóngeislaorku og flæði (gerir nákvæma stillingu á botnhorni mynsturs og flatleika) |
Óháð aðlögun á jóngeislaorku og flæði (tryggir nákvæma stjórn á háþróaðri ferliformgerð) |
|
Stage Tilt Range |
-90 gráður til +80 gráður (gerir sér stað hallandi jónageislatíðni til að stjórna hliðarhorni) |
-90 gráður til +80 gráður (styður hallatíðni til að uppfylla kröfur um flóknar mynstur hliðarvegg) |
|
Stage Function |
Snúanlegt meðan á ferli stendur (eykur ássamhverfu ferlis og innan -oblátu einsleitni) |
Snúanlegt meðan á vinnslu stendur (tryggir stöðug vinnslugæði á stórum 12 tommu oblátum) |
|
Ferli umhverfi |
Mikið-tæmisumhverfi (dregur úr truflunum frá umhverfinu, tryggir stöðug efnahvörf og sputtering) |
Mikið-tæmiumhverfi (viðheldur áreiðanlegri samvirkni líkamlegrar sputteringar og efnahvarfa) |
|
Uppsetning kammers |
Stillingar eins-hólfs eða klasa (valfrjálst, hentugur fyrir litla-miðlungsframleiðslu og rannsóknir og þróun) |
Samþættanlegt í ýmis klasakerfi (samhæft við stór-12 tommu háþróaðar vinnslulínur) |
|
Efnissamhæfi |
Málmar, málmblöndur, oxíð, samsettir hálfleiðarar, einangrunarefni (leysir flókin efnismynsturáskoranir) |
Málmar, málmblöndur, oxíð, samsettir hálfleiðarar og fjöl-laga stafla (passar fyrir háþróaðar þarfir tækjaframleiðslu) |
|
Kjarnaviðmiðunarsvið umsókna |
8-tommu þroskaðir ferlihnútar (Stærri en eða jafnt og 0,11μm), lítill sjónskynjari, sérstök MEMS R&D, framleiðsla á flóknum íhlutum í litlum lotum |
12-tommu háþróuð ferli (td MRAM/PCRAM virknilög), kísilljóseindaflísar, stór-hánákvæmni hálfleiðaraframleiðsla |
Algengar spurningar
Sp.: Hver er lykilmunurinn á 8 tommu og 12 tommu RIBS kerfum?
A: 12-tommu miðar á há-nákvæmni 12 tommu fjöldaframleiðslu; 8-tommu passar fyrir margstærðar oblátur (8/6/4-tommu) fyrir þroskaða hnúta og R&D.
Sp.: Hvaða efni geta þeir unnið?
A: Báðir meðhöndla málma, málmblöndur, oxíð, samsetta hálfleiðara og einangrunarefni.
Sp.: Geta þeir framleitt sérstaka sjónvirki?
A: Já, bæði skara fram úr í hallandi/gljáandi ristum með-leiðandi getu í iðnaði.
Sp.: Eru kerfin samhæf við núverandi framleiðslulínur?
A: Já, bæði styðja klasastillingar og uppfylla hálfleiðara iðnaðarstaðla til að auðvelda samþættingu.
maq per Qat: öfugt geisla mótunarkerfi, Kína öfugt geislamótunarkerfi framleiðendur, birgjar
