Vöruyfirlit
Þetta magnetron sputtering kerfi er byggt fyrir málmþunnt filmuútfellingu í hálfleiðaraframleiðslu. Það er mikið notað í samþættum hringrásum, rafmagnstækjum og háþróaðri umbúðum. Kerfið styður 6 tommu og 8 tommu obláta og skilar stöðugum, endurteknum þunnfilmuvöxt fyrir bæði rannsóknir og þróun og magnframleiðslu.
Kostir
1. Cluster stíl og mát hönnun gerir það auðvelt að stilla og stækka fyrir mismunandi ferli þarfir.
2. Alveg sjálfvirk meðhöndlun obláta með fullkomnum aukaaðgerðum heldur rekstri stöðugri og dregur úr handvirkum inngripum.
3. Eins hólfa eins marks skipulag styður samhliða og samstillt ferli, sem bætir heildar skilvirkni.
4. Hár lofttæmisafköst niður í ~6E 6 Pa og einsleitni viðnám laks Minna en eða jafnt og 3% hjálpa til við að tryggja samræmd filmugæði yfir diska.
Umsóknir
1. Samþættar hringrásir: notaðar til að setja málmtengingar, rafskaut og hindrunarlög í framenda- og bakendaferli.
2. Afltæki: styður málmfilmumyndun fyrir rafskaut, málmvæðingu og passivering í háspennu- og háspennuhlutum.
3. Háþróuð umbúðir: veitir áreiðanlega málmvinnslu fyrir endurdreifingarlög (RDL), högg og önnur samtengingarvirki umbúðir.
Algengar spurningar
Sp.: Til hvers er þetta segulómspúttkerfi eiginlega notað?
A: Þetta er þunnt-filmuútfellingartæki-aðallega til að leggja niður málmfilmur í hálfleiðaraframleiðslu. Hugsaðu um að samþættar rafrásir, afltæki og háþróuð pökkunarferli- séu helstu notkunartilvik þess.
Sp.: Hvaða oblátastærðir ræður það við?
A: Núna virkar það með 6-tommu og 8 tommu oblátum. Fullkomið fyrir bæði rannsóknar- og þróunarvinnu og framleiðslulínur í fullri stærð.
Sp.: Hversu lágt getur lofttæmisstigið orðið?
A: Við erum að tala niður í um 6E-6 Pa fyrir ferlitæmið. Það er mikilvægt til að fá hágæða, stöðugar þunnar kvikmyndir.
Sp.: Hversu samkvæm er einsleitni kvikmyndarinnar?
A: Einsleitni lakviðnáms er Minna en eða jafnt og 3%-þannig að þú munt ekki sjá miklar breytingar á milli flísanna, sem er lykilatriði fyrir áreiðanlega afköst tækisins.
Sp.: Hvað gerir þetta kerfi áberandi fyrir daglega notkun?
A: Það eru litlu hlutirnir sem bætast við: þyrpinga-einingahönnun (mjög sveigjanleg fyrir sérsniðnar uppsetningar), fullkomlega sjálfvirk meðhöndlun obláta (dregur úr handavinnu) og eins-hólfs eins-markmiðsskipulag (gerir ferlum að keyra samhliða, eykur skilvirkni).
Sp.: Er það hentugur fyrir háþróaða umbúðir?
A: Algjörlega. Það er mikið notað til málmvinnslu í háþróaðri umbúðum-eins og RDL (endurdreifingarlag), högg og önnur samtengd mannvirki sem þurfa áreiðanlegar málmfilmur.
maq per Qat: magnetron sputtering kerfi, Kína magnetron sputtering kerfi framleiðendur, birgjar
