Vöruyfirlit
Nice-Tech' 8-tommu IBD kerfi er sérhæft fyrir lágt-hitastig, háan-þéttleika og mikla-jafnvægi þunnrar-filmuútfellingar á 8-tommu diskum. Það notar sputtering tækni með tvöföldum-jóna-uppsprettu (spúttering + aðstoð uppspretta): aðaluppspretta myndar útfellingaragnir, en aðstoðaruppspretta gerir forhreinsun á staðnum og filmuþéttingu kleift.
Hann er búinn 4-raufa snúnings marktrommu (styður allt að 4 markefni) og rauntíma sjónstýringarkerfi (fylgir/stillir filmulóf), sem valfrjálst samþættir jóngeislaætingu (IBE) fyrir "útfellingarætingu" í einu hólfinu. Það er í samræmi við hálfleiðarastaðla og passar við 8 tommu fjöldaframleiðslu og rannsóknir og þróun.
Kostir
Lág-hitamynd, há-þéttleiki
Býr til hágæða, þéttar filmur við lágt hitastig og ofur-lágan þrýsting. Þetta kemur algjörlega í veg fyrir skemmdir á disknum og eykur beinlínis endingu tækisins til lengri-tíma.
Fjölhæfni-efnis
Hann er búinn 4-raufa marktrommu og styður bæði stakar og samsettar filmur-sem þekja málma, málmblöndur, oxíð og oftar - ekki er þörf á tíðum markaskiptum.
Innbyggt nákvæmnisstýring
Veldu IBE til að fá „for-hreint → útfelling → ætingu“ allt í einu hólfi. Rauntími-vöktun tryggir stöðuga kvikmyndafköst í hverri lotu.
Breiður eindrægni
Sérsniðin fyrir 8 tommu oblátur. Notar staðlaða íhluti, gerir viðhald auðvelt og samþættingu við núverandi framleiðslulínur óaðfinnanlegar.
Umsóknir
Hörð diskur hluti:Leggur lykilfilmur (td hörð segulmagnaðir hlutdrægnilög) fyrir HDD leshausa (TMR/AMR) og tryggir segulmagnaðir stöðugleika.
Optísk tæki:Undirbýr Bragg Stacks og aðrar ljósfilmur fyrir leysigeisla, ljósnema og sjónskynjara.
Nákvæmni skynjarar:Leggur fram starfrænar filmur (segulmagnaðir, leiðandi) fyrir MEMS/segulskynjara, eykur næmni.0
R&D:Styður þróun skáldsögukvikmynda (2D samsett efni, piezoelectric kvikmyndir) í háskólum og rannsóknarstofnunum.
Færibreytur
|
Flokkur |
8 tommu IBD kerfi |
|
Samhæfni obláta |
8-tommu (aðal); aðlaganlegt að hluta af sérstærð undirlagi með ferlistillingu |
|
Uppsetning jónagjafa |
Tvöfaldur-jóna-uppspretta (spúttjónagjafi + hjálparjónagjafi); valfrjáls IBE (Ion Beam Etching) aðgerð |
|
Miðað trommugeta |
4-raufa snúningstromma (styður allt að 4 mismunandi markefni) |
|
Útfellingshiti |
Lágt-hitaferli (forðast varmaskemmdir á oblátu og viðkvæmum tækjum) |
|
Ferlisþrýstingur |
Ofur-lágþrýstingsumhverfi (stuðlar að mikilli-þéttleika filmuútfellingar) |
|
Kvikmyndastýringarkerfi |
Rauntíma sjónstýringarkerfi (fylgir, greinir og stillir filmuróf í rauntíma) |
|
Innborganlegt efni |
Málmar, málmblöndur, oxíð og sérhannaðar fyrir nýjar hagnýtar kvikmyndir (td 2D samsett efni, piezoelectric kvikmyndir) |
|
Samþætting ferli |
"Pre-hreinsun-útfellingar-æting" samþætt ferli (valfrjálst, sama hólf) |
|
Samræmi iðnaðarins |
Samræmist vinnslustöðlum hálfleiðara iðnaðarins |
|
Lykilhlutar |
Alþjóðlegir staðallir hlutar (lágur viðhaldskostnaður, þægileg skipti á varahlutum) |
Algengar spurningar
Sp.: Hvaða diskastærð styður kerfið fyrst og fremst?
A: 8-tommu (aðlaganlegt undirlagi í sérstærð að hluta).
Sp.: Hversu mörg markefni ræður það við?
A: Allt að 4, í gegnum 4-raufa snúnings marktrommu.
Sp.: Samþættir það ætingarvirkni?
A: Já, valfrjáls IBE (Ion Beam Etching) fyrir „útfellingu-ætingu“ í einu hólfinu.
Sp.: Hver er kostur á lykilútfellingu?
A: Lágt-hitastig, há-þéttleiki kvikmyndir með rauntíma-sjónstýringu fyrir samkvæmni.
maq per Qat: jón geisla útfellingarkerfi, Kína jón geisla útfellingarkerfi framleiðendur, birgja
