Framleiðsla á hálfleiðuraflögum (einnig þekkt sem samþættir hringrásir, ICs) er aðallega skipt í þrjú meginþrep: IC hönnun, IC framleiðsla og IC pökkun og prófun. IC hönnun byggist aðallega á rökfræðihönnun og reglumótun hönnunar tilgangs flísarinnar og grímur eru gerðar í samræmi við hönnunarteikningarnar fyrir síðari ljósþekjuþrep. IC framleiðsla felur í sér að flytja flís hringrás skýringarmynd frá grímunni til kísilskífunnar og ná markmið flís virkni, þar á meðal skref eins og efna vélrænni fægja, þunn filmu útfellingu, ljóslithography, ætingu og jónaígræðslu. Að ljúka IC-umbúðum og frammistöðu-/virkniprófun á flögum er lokaferlið fyrir afhendingu vöru.
Ljósmyndafræði er flóknasta og mikilvægasta ferliþrepið í framleiðsluferli hálfleiðaraflísa, sem er tímafrekt og kostnaðarsamt. Erfiðleikarnir og lykilatriðið í framleiðslu hálfleiðaraflísa felst í því hvernig á að búa til markhringrásarmynstrið á kísilskífunni, sem er náð með ljóslithography. Stig ljóslitafræði ákvarðar beint ferli og frammistöðustig flísarinnar. Almennt krefjast flísar 20-30 ljósþekjuferla meðan á framleiðslu stendur, sem svarar til um 50% af IC framleiðsluferlinu og þriðjungi framleiðslukostnaðar flísanna.
