Hreinsun skúffu vísar til þess ferlis að nota efnafræðilegar eða eðlisfræðilegar aðferðir til að fjarlægja mengunarefni og oxíð af yfirborði skúffu meðan á framleiðslu á samþættum hringrásum stendur til að uppfylla hreinlætiskröfur skífuyfirborðsins. Meginreglan við þvotthreinsun er að fjarlægja ýmis óhreinindi án þess að skemma diskinn.
Það eru fjórar meginaðferðir til að fjarlægja agnir: upplausn, oxandi niðurbrot, raffráhrinding milli agna og yfirborðs kísilskífunnar og lítilsháttar tæringu á yfirborði kísilskífunnar.
Til að fjarlægja málm agnir er SC-2 lausn eða HPM lausn venjulega notuð til að draga úr málminnihaldi á fleti yfirborðinu. SC-2 lausnin fer í gegnum kristöllun, sem getur aukið fjölda agna á yfirborði skúffunnar eftir hreinsun. Þess vegna er hægt að nota HF í stað HCL, eða O3 ásamt HF er hægt að nota í stað SC-2 lausnar til að fjarlægja málm agnir á áhrifaríkan hátt.
Fyrir lífræn mengunarefni er SPM lausn eða UV/óson fatahreinsunartækni venjulega notuð til að fjarlægja.
Eftir blauthreinsun þarf að þurrka diskinn vandlega til að tryggja að engin vatnsmerki séu á yfirborðinu áður en farið er í næsta ferli. Þrjár algengustu þurrkunaraðferðirnar sem eru í boði eru snúningsþurrkun, Marangoni þurrkun og heit ísóprópanól atomization þurrkun.
