Tæknileg meginregla
3D sjónsniðsmælirinn samþykkir aðallega tvær sjóntækni:
1. Hvítt ljós truflunartækni: Með því að greina fasabreytingar truflunarjaðra og reikna út hæðarmun á yfirborði hefur það undir nanómetra lengdarupplausn.
2. Confocal tækni: með því að nota meginregluna um samtengda fókus hlutlinsunnar nær fókusnákvæmni 2nm, hentugur til að mæla yfirborð með háum halla.
Umsóknarreitur
1. Nákvæmni framleiðsla: Bilunargreining á hálfleiðaraflísum, einkenni MEMS tækja.
2. Efnisrannsóknir: Tæringargreining á málmum/plasti, mæling á endurspeglun ljósfilmu.
3. Iðnaðarprófanir: Slitagreining á bifreiðaíhlutum, flatneskjumat á flugvélaíhlutum.
