Hversu langan tíma tekur það að kaupa og setja upp myndlitavél? Heildarleiðbeiningar um tímalínu og viðbúnað
Gefið út af DMJ Semiconductor Engineering Division
Vefsíða: https://www.dmjsemi.com/
Markhópur: Hreinherbergisstjórar, rekstrarskipuleggjendur hálfleiðara, akademískir nanofab-stjórar, MEMS framleiðslueftirlitsmenn og innkaupaleiðir fjármagnsbúnaðar.
1. Inngangur
Þegar skipulögð er kaup á hálfleiðaraljósmyndabúnaði, einblína aðstöðustjórar og verkefnastjórar stöðugt að tveimur grundvallarspurningum um tímasetningu:
• Hversu langan tíma tekur það frá því að pöntun er lögð fram þar til vélin er móttekin á aðstöðunni okkar?
• Þegar búnaðurinn er kominn á hleðslubryggju hreinherbergis, hversu hratt er hægt að setja hann upp, kvarða hann og setja hann í virka framleiðslu?
Ljósmyndabúnaður er ekki-frá-tilbúið rannsóknarstofuverkfæri. Lýsingarkerfi samþætta nákvæmni granít titringsþrep, undir-míkron sjónsamsetningar, há-ljósagjafa og sérhæfðan stjórnunarhugbúnað. Þar af leiðandi er ekki hægt að meðhöndla innkaupaáætlanir eins og venjubundin vélbúnaðarkaup.
Heildarlengd frá upphaflegri kröfumörkun til að keyra fyrstu hæfu diskana spannar allt frá 6 til 12 vikur fyrir stöðluð bein-skrifkerfi eða á-birgðagrímujafnara, allt að 26 til 52+ vikur fyrir mjög sérsniðna vörpunþrep og sjálfvirka há-framleiðsluskanna.
Að skilja raunhæfa tímalínu-og þekkja lykilbreyturnar sem knýja fram afhendingu búnaðar og gangsetningu hreinsherbergja-gerir verkfræðingateymum kleift að samræma viðbúnað aðstöðunnar, samstilla ljósþol og efnaöflun og koma í veg fyrir kostnaðarsamar tafir á tímamótum í þróun tækja.
2. Dæmigert tímalína fyrir kaup á ljósmyndavél
Verkefni til innkaupa á ljóslitavélum gengur í gegnum sex vel-skilgreinda rekstraráföngum:
1. áfangi: Staðfesting á ferliskröfum (vika 1 til 2)
Áður en farið er fram á formlegar viðskiptatillögur skilgreinir ferliverkfræðiteymi kaupanda tæknileg grunnviðmið:
• Stærð og rúmfræði undirlags (td 2 tommu, 4 tommu, 6 tommu, 8 tommu oblátur, eða klofnar 5 mm × 5 mm deyja).
• Markmið upplausn af mikilvægri vídd (CD) (td 0,5 μm, 1,0 μm eða 3,0 μm) og nauðsynlega ljósþolsfilmuþykkt.
• Æskileg nákvæmni lags-til-lags yfirlags (td minna en eða jafnt og ±0,25 μm efstu-hliðarjöfnun, eða minna en eða jafnt og ±1,0 μm innrauðri jöfnun bakhliðar).
• Umhverfisflokkun hreinherbergis (ISO Class 5 / Class 100 eða ISO Class 6 / Class 1.000) og tiltæk loftrými.
2. áfangi: Búnaðarval og bráðabirgðatilboð (vikur 2 til 4)
Viðskiptavinurinn fær framleiðendur umsækjenda-eins og DMJ Semiconductor-til að endurskoða vélalíkön, bera saman grímulausan bein-skrif á móti grímu-byggðan aligner arkitektúr og meta ljósfræðilegar stillingar. Birgir býr til ítarlega tæknilega og viðskiptalega tillögu þar sem fram kemur grunnverð á vélum, nauðsynleg jaðartæki fyrir tómarúm/kælitæki, hugbúnaðarleyfi og ábyrgðarskilmála.
3. áfangi: Tæknilegt mat, sannprófun sýnis og pöntunarstaðfesting (vikur 4 til 8)
Fyrir notkun með mikilli-nákvæmni, framkvæma virtir birgjar reynslusýnissýni með því að nota raunverulegt hvarfefni viðskiptavinarins og efnaþol. Þegar mikilvægar víddarmarkmið og hliðarsnið hafa verið staðfest með rafeindasmásjá (SEM), ganga aðilar frá kaupsamningi, koma á áfangagreiðsluskilmálum (td 30% fyrirfram, 40% FAT, 20% SAT, 10% varðveisla) og gefa út bindandi innkaupapöntun.
4. áfangi: Framleiðsla, samsetning og samþykki verksmiðju (vikur 8 til 28+)
Framleiðandinn framkvæmir stigasamsetningu, sjónleiðréttingu, kaðall og kerfissamþættingu. Fyrir sendingu gangast búnaðurinn undir verksmiðjusamþykkisprófun (FAT) í verksmiðju byggingaraðila, sem staðfestir sléttleika sviðshreyfinga, sjálfvirka fókussvörun, einsleitni ljósalýsingar og upplausn á viðmiðunardiskum.
Áfangi 5: Grímur, alþjóðleg sending og tollafgreiðsla (vikur 2 til 6, fer eftir flutningsmáta)
Vélin er tekin í sundur í flutningseiningar, lofttæmi-innsiglað með rakahindrunarumbúðum og höggvísum og hlaðið í sérsniðnar trégrindur. Flutningur á sér stað með -hitastýrðri flugfrakt (3 til 7 daga flutningur) eða sérstakan sjófrakt (20 til 35 daga flutning), fylgt eftir með tollafgreiðslu innflutnings og loftlás í hreinu herbergi.
6. áfangi: Uppsetning hreinherbergis, gangsetning og samþykki (vika 1 til 3)
Verkfræðingar á vettvangi taka upp vélina, jafna titringseinangrunargrindina, tengja tól, keyra ljósgeisla kvörðun, þjálfa rekstraraðila hreinherbergis og framkvæma Site Acceptance Testing (SAT) á framleiðslu obláta viðskiptavina.
Verkefnayfirlit: Stöðluð grímulaus steinþrykkkerfi klára venjulega leið-til-enda á 8 til 16 vikum, en sérhæfð sjálfvirk framleiðslukerfi með mikið-magni þurfa 24 til 40+ vikur.
3. Hvaða þættir hafa áhrif á afhendingartímann?
Afgreiðslutími er mjög mismunandi eftir verkefnum. Fimm kjarnaþættir stjórna því hversu hratt er hægt að byggja og senda ljóslitakerfi:
Tiltækur búnaður: Til á-lager vs. smíðaður-til-pöntun:
• Stöðluð lager- eða kynningarkerfi: Birgjar viðhalda stundum stöðluðum-grunnrömmum eða verksmiðjusýniseiningum sem hægt er að prófa, pakka og senda innan 2 til 6 vikna.
• Gerð-að-pöntunarkerfi: Kerfi sem eru smíðuð frá grunni krefjast þess að fá langa-blýíhluti-eins og optískar hlutlinsur, nákvæmar granítgrunnar og línuleg mótorþrep-sem leiða til 12 til 24 vikna byggingarlotu.
Stig sjón- og vélrænnar sérsniðnar:
Staðlaðar vörulistastillingar eru sendar mun hraðar en sérsniðnir pallar. Sérsniðnar verkfræðibeiðnir sem lengja framleiðslutíma eru:
• Tvöföld-bylgjulengd solid-leysiseiningar (td sameinar 405 nm og 375 nm ljósleiðir).
• Sérsniðnar fjöl-svæða lofttæmi fyrir viðkvæmt samsett undirlag (GaAs, GaN-á-Si, InP eða glerplötur).
• Sjálfvirk vélmenni til að meðhöndla snælda-í-snælda obláta (EFEM / SMIF samþætting).
• Innrauða (IR) jöfnunarljósfræði bakhliðar fyrir MEMS í gegnum -kísill í gegnum (TSV) framleiðslu.
Framleiðslugeta birgja og eftirsláttur:
Á tímum mikillar fjárfestingarútgjalda fyrir hálfleiðara, standa frammistöður í ljósaíhlutum og undirverktakar í nákvæmni vinnslu frammi fyrir auknum dráttum. Birgir með samþætta-samsetningu húss og staðbundnar íhlutabirgðir-eins og DMJ Semiconductor-viðhalda strangari stjórn á afhendingaráætlunum en tækjamiðlarar þriðju-aðila.
Sendingaraðferð og alþjóðlegur áfangastaður:
• Flugfrakt: Ákjósanlegasta aðferðin fyrir viðkvæm hálfleiðaraverkfæri. Flutningstími er 3 til 7 virkir dagar, með lágmarks hitastigi og titringi.
• Sérstakur sjófrakt: Hagkvæmari fyrir fyrirferðarmikla framleiðsluþrep, en flutningur tekur 20 til 35 daga, með viðbótartíma meðhöndlunar í höfn.
• Sérhæfðir flutningar innanlands: Til að flytja há-nákvæmnibúnað frá vöruflutningamiðstöðvum flugvalla yfir í hreinherbergisaðstöðu þarf flug-fjöðrandi vörubíla til að verja sjónbylgjuframhliðina fyrir áföllum á vegum.
Tollafgreiðsla og farið eftir reglugerðum:
Hálfleiðaraútsetningarkerfi eru vöktaðar vörur með tvíþættri-notkun í ákveðnum lögsagnarumdæmum. Að útbúa nákvæma viðskiptareikninga, flokkun HS vörukóða, CE / SEMI S2 öryggisskírteini og innflutningsleyfi fyrirfram kemur í veg fyrir að tolleftirlit stöðvi afhendingar á inngönguhöfnum í margar vikur.
Eitt þessara skilyrða er hvort tryggingar eða tryggingar séu fyrir láninu ef lántaki getur ekki greitt lánið upp, lánveitandi á rétt á að taka tæki, eignir o.fl. af lántaka og selja til að fá peningana sína til baka. Þessi búnaður eða eign getur verið eign sem var keypt með láninu.
4. Hversu langan tíma tekur uppsetning og gangsetning?
Þegar vélarkassarnir eru komnir inn í verksmiðjuna, hversu lengi áður en vinnsluverkfræðingar geta afhjúpað framleiðslu oblátur?
Undir ákjósanlegri undirbúningi fyrir hreinherbergi tekur uppsetning og gangsetning fyrir bein-skrif eða nákvæmni aligner 5 til 10 virka daga. Fyrir flóknar minnkunarþrep með sjálfvirkum oblátasporum tekur ferlið venjulega 2 til 4 vikur.
Gangsetningarröðin fylgir fimm skipulögðum stigum:
Stig 1: Búnaður, losun og tengingar við aðstöðu (dagar 1 til 2)
Vélin er færð í gegnum loftlás hreinherbergisbúnaðarins, losuð frá hindrunarumbúðum og staðsett á tilteknu gólfspori hreinherbergis. Tæknimenn tengja varanleg hreinherbergi:
• Hreint þurrt loft (CDA): Stýrt yfir eða jafnt og 0,6 MPa, agnir-síað í 0,01 μm og þurrkað niður í þrýstingsdaggarmark sem er minna en eða jafnt og -40 gráður.
• Vinnslutæmi: Lágmark -80 kPa fyrir áreiðanlega festingu á oblátu spennu.
• Rafmagn: Sérstakt,-bælt straumafl (einfasa 220V eða þriggja-fasa 380V/480V) með einangruðu jarðtengingu í hreinu herbergi (viðnám < 5 Ω).
• Vinnslukælitæki / útblástur: Tengdu lokaða-lykkjuvatnskælara (hitastöðugleika ±0,1 gráðu) og útblásturstengingar leysisgufu.
Stig 2: Vélræn jöfnun og titringseinangrunarstilling (dagar 2 til 3)
Vettvangsþjónustuverkfræðingar jafna undirstöðu granítvélarinnar með því að nota nákvæma rafræna hallamæla (nákvæmni Minna en eða jafnt og 0,02 mm/m). Óvirkir loft-fjaðraeinangrarar eða virk piezoelectric titringsjöfnunarkerfi eru þrýst og stillt til að einangra sjónhausinn frá titringi á hreinu gólfi, uppfyllir VC-D eða VC-E skilyrði.
Stig 3: Ljósgeislajöfnun og stigshnitakvörðun (dagar 3 til 5)
Verkfræðingar samræma lýsingarhöfuð leysidíóða, kvarða sjónræna sjálfvirka fókusskynjara og kortleggja hornrétt sviðsferðar yfir allt ferðasviðið á disknum. Rauntíma endurgjöf um kóðara er staðfest til að tryggja skref-og-endurteknar staðsetningar endurtekningarhæfni innan undir-míkróna vikmörk.
Stig 4: Ferlahæfi og reynslupróf á samþykki vefsvæðis (dagar 5 til 7)
Vélin afhjúpar prófunarplötur húðaðar með ljósþoli viðskiptavina. Verkfræðingar þróa obláturnar og sannreyna:
• Critical dimension (CD) upplausn yfir einangruð og þétt línu-rýmisfylki.
• Nákvæmni yfir-hliðar og bakhliðarlags-til-lagsálags nákvæmni (sem staðfestir Minna en eða jafnt og ±0,25 μm til ±0,5 μm forskriftir).
• Einsleitni lýsingarsviðssaums á beinum-skrifkerfum.
Stig 5: Hjálpar-þjálfun stjórnenda og viðhalds (dagar 7 til 10)
Rekstraraðilar hreinherbergja fá skipulega kennslu um innflutning á CAD skrám (GDSII, DXF, OASIS), uppskriftarforritun og -optískri fókus -exposure matrix (FEM) fínstillingu. Viðhaldsstarfsfólk á hreinum herbergjum er þjálfað í þrif á spennum, vöktun leysirafls og fyrirbyggjandi viðhaldsáætlanir.
5. Hvernig á að forðast tafir þegar þú kaupir myndlitavél
Til að tryggja að búnaður þinn komi á áætlun og byrjar að starfa án kostnaðarsamra tafa, ættu hreinstofuteymi að fylgja fimm fyrirbyggjandi aðferðum:
1. Ljúktu við tækniforskriftir snemma:
Forðastu að breyta sjónrænum breytum, undirlagsmáli eða sjálfvirknikröfum eftir að framleiðslusamningur hefur verið undirritaður. Skipanir um verkfræðibreytingar (ECOs) við vélræna samsetningu kynna verulega endurhönnun og afgreiðslutíma íhluta.
2. Staðfestu birgðabirgðir birgja og afgreiðslutíma íhluta:
Áður en innkaupapöntun er gefin út skaltu spyrja söluaðilann beint hvort kjarnasamstæður (objektlinsur, leysidíóða, hreyfistig) séu þegar á lager eða verði að afla þeirra frá þriðja aðila. Skýrðu raunhæfar afhendingaráætlanir fyrirfram.
3. Fullkomið tilbúið hreinherbergi samhliða:
Ekki bíða eftir að búnaður berist áður en þú undirbýr veitur. Ljúktu við niðurfallslínur veitu, settu upp sérstakar jarðtengingarrásir, staðfestu daggarpunkta fyrir hreint þurrt loft, athugaðu hurða- og lyfturými og staðfestu titringsgólf á meðan búnaðurinn er settur saman í verksmiðjunni.
4. Komdu á skýrum flutnings-, búnaðar- og tollabókunum:
Samningur við reynda hálfleiðara flutningsmiðlara sem skilja loftslags-stýrða loftflutninga og högg-vöktun á skógarhöggsmanni. Tryggðu þér öll tollskjöl og tollfrelsisskírteini vel fyrir sendingardag.
5. Halda skipulögðum samskiptum við birgjann:
Komdu á tveggja-tæknilegum skoðunum-við verkefnastjóra framleiðanda þíns. Farðu yfir tímamót í framleiðslu, staðfestu gátlista fyrir reiðubúna staði og skipuleggja aðgang að hreinsherbergi fyrir verkfræðinga með góðum fyrirvara.
Fjárhæð lánsfjár sem fyrirtæki hefur í tengslum við hlutafé þess er skiptimynt þess.
Fyrirtæki með miklar lántökur miðað við hlutafé er mjög skuldsett. Fyrirtæki sem á í erfiðleikum með að greiða af skuldum sínum er of skuldsett.
6. Niðurstaða
Að eignast ljóslitavél krefst agaða samhæfingar þvert á vinnsluverkfræði, aðstöðustjórnun og flutninga söluaðila.
Raunhæfur innkaupaáætlunargluggi lítur svona út:
• Stöðluð grímulaus bein-skrifkerfi: 8 til 14 vikur frá pöntun til viðurkenndrar framleiðslu.
• Gert-til að-panta sérsniðin kerfi: 16 til 26 vikur.
• Hár-framleiðsla þrepa/skannar: 26 til 52+ vikur.
• Ræsing á -hreinherbergi á staðnum: 5 til 10 virkir dagar með viðeigandi viðbúnað.
Með því að skilgreina ferlihönnunarreglur snemma, undirbúa hreinherbergi samhliða samsetningu verksmiðjunnar og viðhalda fyrirbyggjandi samskiptum við búnaðarsmiðinn þinn, geta hreinherbergateymi komið í veg fyrir óvænta niður í miðbæ og komið með nýja örframleiðslumöguleika á netinu á áætlun.
Hjá Nice-Tech (https://www.dmjsemi.com/) hönnum og framleiðum við há-nákvæmni grímulaus bein-rita- og sjónlitógrafíukerfi sem eru hönnuð fyrir hraða dreifingu í hálfleiðara R&D, hreinstofur háskóla og MEMS steypur. Staðlað einingaarkitektúr okkar gerir verulega hraðari framleiðslu- og gangsetningarlotur samanborið við eldri stigpalla.
Ertu að skipuleggja nýja uppsetningu steinprentunarbúnaðar fyrir aðstöðu þína?
Hafðu samband við-Tæknitækniteymi Nice í dag til að ræða afgreiðslutíma, fara yfir kröfur um hreinherbergi og fá nákvæma verkáætlun sem er sérsniðin að umsókn þinni:
Vefsíða: https://www.dmjsemi.com/
Beinar fyrirspurnir og verkáætlun:
