Vöruyfirlit

Sjálfvirka skífuskoðunarsmásjáin eru sjálfvirk skoðunartæki á flísu-stigi fyrir iðnað eins og hálfleiðara, spjaldskjái og ljósvökva. Þeir veita skilvirkar og nákvæmar lausnir fyrir sýnisskoðun, greiningu og vinnslu.

Staðsetning vöru

Sjálfvirka skífuskoðunarsmásjáin sem notar Zeiss ljósfræðitækni, samþættir einingahönnun og greindar reiknirit, þessar smásjár ná yfir allar þarfir obláta, allt frá sjálfvirkri hleðslu og affermingu, fjölvíddarskoðun, gallamerkingu til skýrslugerðar, jafnvægi í notkun og fagmennsku.

Kostir

① Há-vinnuhamur

② Lausn fyrir eftirlit með skúffum fyrir obláta

③ Rauntímamæling- sem gefur nákvæm gögn

④ Mikið af hlutlægum linsuvalkostum

⑤ Greindur og hraður sjálfvirkur fókus

⑥ Snjöll og skilvirk merking á leysigalla

⑦ Forskoðun leiðsagnarkorts, samanburður á teikningum, nákvæm staðsetning

⑧ Samhæfni þriðju-aðila, sem gerir sjálfvirka meðhöndlun obláta kleift

Umsóknir

Hálfleiðaraframleiðsla
Spjaldskjár
Ljósvökvaiðnaður

Færibreytur

XY stig	8 tommu obláta XY handvirk/vélknúin sviðseining XY nákvæmni: Minna en eða jafnt og 2 μm Ferðasvið: 205 mm × 205 mm Kúplingshandfang fyrir hraðvirka hreyfingu
Z-ás stig	Z-ás handhjól Fínstillingarnákvæmni Z-ás-: Minna en eða jafnt og 1 μm Ferðasvið: Stærra en eða jafnt og 36 mm
Hlutlæg linsa	Samþykkja upprunalega handbók/rafsmásján nefstykki Zeiss Zeiss EC EpiPlan markmið, EC Epiplan Apochromat markmið og EC Epiplan Neofluar markmið
Ljósgjafi	5W LED ljósgjafi 10W LED endurskinsljósgjafi
Hleðslustig fyrir oblátur	Samhæft við fjöl-stærðar oblátur (samhæft við 4 tommu, 6 tommu og 8 tommu diska) Sending leyfð, aftengjanlegur diskur vinnubekkur og greiningaraðgerð LCD spjaldsins er studd
Myndgreiningarathugun	Samhæft við Zeiss Axiocam myndavélar eða 3. hluta myndavélar Augngler fyrir Zeiss (valfrjálst) Býður upp á athugunarstillingar fyrir björtu svið og dökku svið, með valfrjálsum mismunadrifunaráhrifum, flúrljómun og skautuðum stillingum
Fjarstýringarhandfang	Hnappur fyrir hlutlægan linsuskipta Lýsingarljósstyrkstýringarhnappur og getur sjálfkrafa stillt núverandi ljósstyrk í samræmi við hlutlinsuna/athugunarhaminn Skiptahnappur fyrir endurskin lýsingu og sendandi lýsingu Telex Z-ás fókushnappur, XY hreyfiás fjarkönnun Gallamerking og sjálfvirkur fókushnappur
Sjálfvirkur fókus eining	Samhæft við virka sjálfvirka fókuseiningu, gerir sér grein fyrir rauntíma-fókusaðgerð á hlut sem sést undir 50× markmiði
Gallamerkingareining	Samhæft við gallamerkingareininguna til að ná-rauntímamerkingu á gölluðum hlutum úr sýni
Meðhöndlunareining fyrir oblátur	Samhæft við obláta meðhöndlunareiningar til að ná sjálfvirkri hleðslu og affermingu á oblátum

Algengar spurningar

Hvaða stærð af oblátum getur það skoðað? Getur það skoðað aðrar stærðir?

Það er samhæft við 4 tommu, 6 tommu og 8 tommu obláta. Þegar sviðið er fjarlægt er einnig hægt að nota það til að skoða LCD spjöld.

Hvaða ljóstækni notar það?

Það heldur áfram aldar -gömlum sjónrænum gæðum Zeiss og samþættir kosti ICCS ljósfræði. Öll linsur eru upprunalegar Zeiss linsur, þar á meðal akkrómatísk, hálf-afrómatísk og apochromatic gerðir. Það styður einnig birtusvið, dökksvið, DIC, skautað og flúrljómunarathugunarham.

Er erfitt í rekstri? Þarf ég að setja saman einingarnar sjálfur?

Nei, þetta er alhliða lausn. Vistvæn augngler, fjarstýrt handfang og stýrihugbúnaður eru allir samþættir. Allt ferlið krefst ekki frekari þróunar og jafnvel byrjendur geta byrjað fljótt.

Er hægt að stjórna honum sjálfvirkt eða fjarstýrt?

Það er hægt að fjarstýra því með handfanginu, sem er með flýtilykla til að skipta um markmið og stilla lýsingu. Það er einnig hægt að útbúa vélknúnu XYZ stigi, sjálfvirkum fókus og oblátum meðhöndlunareiningum, sem gerir sjálfvirka hleðslu og affermingu og stöðuga fókusmælingu.

Hvernig er tilfærslunákvæmni? Hversu vel virkar sjálfvirkur fókus?

XY vélknúna þrepið nær nákvæmni sem er Minna en eða jafnt og 2μm og nákvæmni Z-áss fínstillingar- er Minna en eða jafn 1μm. Sjálfvirkur fókus notar 660nm/780nm/808nm ljósgjafa, há-ramma-myndavél og reiknirit, sem gerir hraða fókus og stöðuga mælingu. Það styður einnig uppfærslur fyrir Zeiss Axioscope röð smásjár.

Á hvaða efni er hægt að nota leysimerkingar?

Tveir leysir, 450nm og 532nm, eru fáanlegir. Hægt er að nota efni eins og króm, ál, ITO, kopar og kísillplastefni til að merkja og gera við undir-míkrónhæð.